Rigaku Corporation, socio de soluciones globales de sistemas analíticos de rayos X y empresa de Rigaku Holdings Corporation (sede central: Akishima, Tokio; director ejecutivo: Jun Kawakami; en adelante, “Rigaku”), ha lanzado al mercado el XHEMIS (pronunciado “ZEM-mis”) TX-3000, un sistema de fluorescencia de rayos X por reflexión total (TXRF, por sus siglas en inglés) que permite analizar trazas de contaminación en la superficie de las obleas en la fabricación de semiconductores.
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Rigaku protege la calidad con la tecnología TXRF, un campo en el que su cuota de mercado es abrumadora El análisis de trazas de contaminantes en las superficies de las obleas es fundamental en el ámbito de la fabricación de semiconductores. A medida que aumenta la minuciosidad en los pasos de producción y los estándares de calidad son cada vez más estrictos, este proceso desempeña un papel importante en la reducción de las tasas de defectos. Además, las líneas de fabricación que incorporan cientos de pasos requieren un análisis preciso de las trazas de contaminantes en las superficies de las obleas para mantener un funcionamiento estable y la confiabilidad de la calidad del producto. Con TXRF, un enfoque representativo para este fin, Rigaku ha consolidado su tecnología como el estándar efectivo a nivel global. La empresa lleva mucho tiempo impulsando la mejora de los estándares de calidad en el sector. El modelo más reciente de Rigaku, el XHEMIS TX-3000, mejora las características existentes y ofrece un salto cualitativo en precisión de medición, operatividad y productividad.
Gracias a un aumento de hasta 6 veces en la velocidad se pueden completar en 10 minutos tareas de medición que antes requerían una hora El XHEMIS TX-3000 alcanza velocidades de procesamiento hasta 6 veces superiores a las de los sistemas anteriores de Rigaku. En primer lugar, la velocidad de medición se triplica al combinar una matriz óptica de nuevo desarrollo con un novedoso detector de varios elementos. A continuación, este sistema combinado se acopla a una tecnología de predicción de espectros basada en IA que duplica la velocidad de medición sin sacrificar la precisión. La innovación técnica de esta disposición en dos etapas contribuye a mejorar la productividad y la estabilidad de los procesos en las plantas de fabricación de semiconductores. Con nuestro modelo anterior, las mediciones que solían tardar una hora, ahora se completan en solo 10 minutos.
El nuevo diseño del detector permite el análisis de elementos más ligeros El XHEMIS TX-3000 incorpora una fuente de rayos X que puede cambiar entre tres longitudes de onda, lo que permite el análisis de elementos más ligeros, como el sodio, el magnesio y el aluminio, que son difíciles de detectar con los sistemas de análisis por rayos X fluorescentes. De este modo, se puede medir la distribución superficial de los contaminantes para prácticamente todos los elementos sin destruir la muestra. Además, el XHEMIS TX-3000 combina un monocromador de nuevo desarrollo capaz de irradiar rayos X con un detector de varios elementos que puede medir tres puntos de la superficie de la oblea simultáneamente. Al combinar estas características, el XHEMIS TX-3000 multiplica por tres la velocidad de medición en comparación con los sistemas anteriores.
Con la IA se logra una alta precisión y se amplían las aplicaciones Uno de los problemas de los sistemas analíticos de rayos X fluorescentes es que la reducción del tiempo de medición tiende a degradar su precisión. Para solucionar esto, el XHEMIS TX-3000 adopta un software de predicción de espectros entrenado con grandes cantidades de datos analíticos. De esta manera, se mantiene la precisión incluso reduciendo el tiempo de medición a la mitad. Además, suma una nueva función que reduce la señal de fondo innecesaria, ampliando el rango de aplicaciones a una enorme variedad de materiales que antes no entraban en el espectro de la medición de la contaminación por trazas, como los metales de barrera (recubrimiento protector para el cableado), las películas altamente dieléctricas y los semiconductores compuestos.
Kiyoshi Ogata, vicepresidente ejecutivo sénior, comentó: Rigaku prevé unas ventas de aproximadamente 5000 millones de yenes para los productos TXRF convencionales en 2025. Con la introducción en el mercado de este sistema de alta gama, Rigaku espera que avance su adopción por parte de los principales fabricantes de semiconductores. La empresa espera que este segmento de productos registre un crecimiento de dos dígitos durante varios años consecutivos como plataforma estable que respalde el crecimiento sostenible en el mercado de los semiconductores.
Características del sistema https://rigaku.com/products/semiconductor-metrology/txrf/xhemis-tx-3000?setLang=english
Acerca del Grupo Rigaku Desde su fundación en 1951, los profesionales de la ingeniería del Grupo Rigaku se han dedicado a beneficiar a la sociedad con tecnologías vanguardistas, en especial en sus campos principales de rayos X y análisis térmico. Con presencia en el mercado de más de 90 países y unos 2000 empleados de 9 operaciones globales, Rigaku es el socio ideal de soluciones para la industria y los institutos de análisis de investigación. El porcentaje de ventas de la empresa en el extranjero ha alcanzado aproximadamente el 70%, al tiempo que mantiene una cuota de mercado excepcionalmente alta en Japón. Junto con nuestros clientes, seguimos desarrollándonos y creciendo. A medida que las aplicaciones se expanden desde semiconductores, materiales electrónicos, baterías, medioambiente, recursos, energía y ciencias biológicas hasta otros campos de alta tecnología, Rigaku se dedica a innovar con su lema «To Improve Our World by Powering New Perspectives» (para mejorar nuestro mundo impulsando nuevas perspectivas). Para más información, visite rigaku-holdings.com/english
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El liderazo de Rigaku en el mercado de la tecnología TXRF permite acelerar hasta seis veces el rendimiento analítico. – Business Wire
